カラーフィルタ(BM)製造工程

液晶パネルは、アレイとカラーフィルタの２枚のガラス板で構成されています。
カラーフィルタ(BM)製造工程では、カラーフィルタ基板上にRGB(赤、緑、青)各色のセルの光遮光用に、黒色の材料を格子状に形成します。
検査、成膜、洗浄、レジスト塗布、パターン露光、現像、エッチング、レジスト剥離を行ないます。
＊BM：ブラックマトリックス

カラーフィルタ(BM)製造工程対応製品

(1)	ガラス基板検査装置	GI7500シリーズ
(1)	ガラス基板検査装置	GI4830
(2)(3)(4)(5)	ウエットプロセスシステム	LC/LK/LY/LNシリーズ(G6&7&8)
(2)(3)(4)(5)	ウエットプロセスシステム	LC/LK/LY/LNシリーズ(G5)
(6)	大型ガラス基板露光装置	LE0200SD
(6)	大型ガラス基板露光装置	LE0100S
(6)	大型ガラス基板露光装置	LE9300S
(6)	大型ガラス基板露光装置	LE9100S
(6)	大型ガラス基板露光装置	LE8000シリーズ

検索 by Google


> 詳細な検索