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液晶・ハードディスク関連製品
液晶製造関連製品
大型基板に対応した豊富な製品ラインナップ
アレイ製造工程からモジュール製造工程まで、フラットパネルの検査・製造工程をソリューションサポートできる。それが日立ハイテクの強みです。
液晶製造関連製品一覧
ガラス基板検査装置
GI7500シリーズ
ガラス基板検査装置
GI4830
ウエットプロセスシステム
LC/LK/LY/LNシリーズ(G6&7&8)
ウエットプロセスシステム
LC/LK/LY/LNシリーズ(G5)
洗浄装置
LC4000シリーズ
有機薬液処理装置/酸薬液処理装置
LY4000/LN4000シリーズ
大型ガラス基板露光装置
LE0200SD
大型ガラス基板露光装置
LE0100S
大型ガラス基板露光装置
LE9300S
大型ガラス基板露光装置
LE9100S
大型ガラス基板露光装置
LE8000シリーズ
大型ガラス基板露光装置
LE5565A
大型ガラス基板露光装置
LE4000A
PS高さ測定装置
GH7500シリーズ
LCD基板重ね合せ→GAP形成システム
AE/AG6000シリーズ
モジュール組立システム
AL/AB7000シリーズ
モジュール組立システム
AK/AL/AB6000シリーズ
小板液晶用実装装置
AX1000
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