ディスク洗浄装置　FXシリーズ

サブストレートおよびディスクに対応し、複合洗浄方式による高洗浄力、高洗浄度化を実現した量産型洗浄装置

特長

複合洗浄方式採用による洗浄力向上 高清浄度なディップ槽を採用 ＩＰＡドライ乾燥方式採用 高スループット対応

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