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PS高さ測定装置 GH7500シリーズ
カラーフィルタの全数高速測定を実現
第8世代ガラスの大型化・薄型化に対応したフォトスペーサの高さ測定装置。
高さと位置を同時に測定し高速検査と高さ測定再現性の高安定性を実現。
特長
CF色と振動の影響を受けないコンフォーカル測定
高速検査が可能
50秒/2200mm x 2500mm(16ポイント/ガラス：4測定ヘッド)
ＰＳの高さと位置を同時測定
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（株）日立ハイテクノロジーズ
FPD・HD装置営業本部 事業戦略部
TEL：03-3504-3064
FAX：03-3504-5946
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