ガラス基板検査装置　GI4830

第4世代大型ガラス基板に対応したガラス基板検査装置。 当社独自の開発により高信頼性で高検出感度が可能。 高精度表裏分離検査、TVモニタによる異物観察、高速検査を実現。

特長

高速検査が可能 180秒/730mm x 920mm 大型ガラス基板対応 550mm x 650mm〜730mm x 950mm 高検出感度 0.3m：パーティクル 3m：ピンホール 表裏分離検査が可能 TVモニタにより異物観察が可能

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