ガラス基板検査装置　GI7500シリーズ　

第8世代大型ガラス基板に対応したガラス基板検査装置。 当社独自の開発により高信頼性で高検出感度が可能。 高速検査、高倍率でのTVモニタによる異物観察を実現。

特長

大型ガラス基板対応 最大2200mm x 2500mm 高速検査が可能 150秒/2200mm x 2500mm(1m高速モード） 高検出感度 0.3m ：素ガラス TVモニタにより高倍率での異物観察が可能

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