洗浄装置　LC4000シリーズ

プロセス完結型のスピン洗浄装置。 従来スピンタイプ装置の難点とされていた乾燥における基板へのダメージとミスト飛散防止策、裏面の精密洗浄を実現。

特長

プロセス完結型の処理チャンバ採用、搬送時の汚染リスクやライン長さの低減が可能 低回転乾燥技術によりガラス基板の損傷を軽減 上カップの設置と圧力制御によりガラス基板の損傷を低減 二重カップによる洗浄液回収再利用システムの構築

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