ウエットプロセスシステム(G5)　LC/LK/LY/LNシリーズ

第５世代の大型基板に対応した、洗浄・アルカリ薬液・有機薬液・酸薬液の各種処理のウエットプロセスライン。

特長

第５世代の大型ガラス基板に対応 最大1200mm x 1350mm 薬液使用量の低減、独自の傾斜搬送プロセスを採用 高スループット BBSによる各種セルの組合せでラインの構築のフレキシブル性と容易なメンテナンス性を実現

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