ウエットプロセスシステム(G6&7&8)　LC/LK/LY/LNシリーズ

第8世代の大型基板に対応した、洗浄・アルカリ薬液・有機薬液・酸薬液の各種処理のウエットプロセスライン。

特長

第8世代の大型ガラス基板に対応 最大2200mm x 2500mm 純水・薬液使用量の低減 高スループット 搬送精度向上 高速搬送対応エアーナイフ

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