大型ガラス基板露光装置　LE0100S

第7世代カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した高生産性XYステッププロキシミティ露光装置。 当社独自のフォトマスクたわみ補正機構による高精度露光。

特長

大型ガラス基板対応 最大1950mm x 2250mm ダブルチャックステージの採用で基板搬送時間を短縮 プロキシミティギャップ制御 独自開発の非接触光学式ギャップコントロール オートアライメント 画像認識による高精度、高速アライメント

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