大型ガラス基板露光装置　LE0200SD

高生産、高精度を実現したカラーフィルタ用プロキシミティ露光装置 2種類の大型ガラス基板を兼用可能(2200×2500/1950×2250) ダブルチャックステージの採用で基板搬送時間を短縮 BM用としてLE0202SDをラインアップ

特長

露光光源 均一な平行光線と照度分布を実現 次世代標準大型マスクの採用 850mm×1400mm×t10mm 1220mm×1400mm×t13mm プロキシミティギャップ制御 独自開発の非接触光学式ギャップコントロール オートアライメント 画像認識による高精度、高速アライメント

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