大型ガラス基板露光装置　LE4000A

カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した量産ライン用の高速プロキシミティ露光装置。 独自に開発した高精度光学式アライメント、高速高精度プロキシミティギャップ制御を実現。パソコンにより装置の稼動状況等のデータ管理をさらに充実したことにより高速、高精度、高信頼性を実現。

特長

高処理速度 18秒/枚(露光時間を除く) 高解像度 オートアライメント、プロキシミティギャップ制御 基板サイズ切換自動 非接触プリアライメント 対応基板サイズ 最大400mm x 500mm インライン化対応

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