大型ガラス基板露光装置　LE5565A

第3世代カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した生産ライン用プロキシミティ露光装置。 独自に開発した信頼性のある機構を備えて生産性が高く、またクリーン機構、温度調整機能の採用で高品質生産を実現。

特長

プリアライメント プロキシミティギャップ制御 独自開発の非接触光学式ギャップコントロール機構 アライメント リニアイメージセンサによる高精度、高速アライメント 対応基板サイズ 最大650mm x 750mm

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