大型ガラス基板露光装置　LE8000シリーズ

第4世代カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した、量産ライン用プロキシミティ露光装置。 一括露光用とステップ露光用の2機種のラインナップ。

特長

高精度で広範囲の露光を実現する大型露光光源 フォトマスク、マザーガラス等の温度調整機構とクリーン化機構を設置し焼付精度と歩留まりの向上を実現 フォトマスクたわみ補正機構による焼付精度向上

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