ディスク表面検査装置　NS1500シリーズ

光干渉測定方式・マルチ方位レーザ照明方式および新開発の傾斜検出方式による測定を同一スピンドル上で行い、洗練された欠陥分類法により検出する開発・評価装置。

特長

多様な光学測定方式による測定 光干渉測定、光反射測定、光散乱測定方式採用 (光干渉測定で微細欠陥の高さ/深さを測定) 微細欠陥を高感度で検出

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