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ディスク表面検査装置 NS7000シリーズ
サブストレートとディスク表面の測定に威力を発揮
マルチ方位レーザ照射方式および新開発の傾斜検出方式により、サブストレートやディスク表面の欠陥を高精度で測定し、高い欠陥弁別能力を有した量産型装置
特長
微細欠陥を高感度で検出
多様な光学測定方式による測定
光反射測定、光散乱測定採用
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（株）日立ハイテクノロジーズ
ファインテックシステム事業統括本部 ファインテックシステム営業本部
TEL：03-3504-5994
FAX：03-3504-5946
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