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カラーフィルタ(RGB)製造工程ページタイトルここまで
カラーフィルタ(RGB)製造工程では、BM工程でBMが形成されたカラーフィルタ基板上にRGB(赤、緑、青)の着色を行ないます。
着色パターン塗布、現像、洗浄をRGB各色ごとに行ない、オーバーコート(着色パターン保護)、洗浄、検査、ITO(透明導電膜)膜付、検査を行ないます。
液晶製造工程の流れ アレイ製造工程 BM製造工程
  下矢印   下矢印  
  セル製造工程 左矢印 RGB製造工程  
  下矢印      
  モジュール製造工程 液晶製造工程の流れ終わり    
 
RGB製造工程図

カラーフィルタ(RGB)製造工程対応製品
(2)(3) ウエットプロセスシステム LC/LK/LY/LNシリーズ(G6&7&8)
(2)(3) ウエットプロセスシステム   LC/LK/LY/LNシリーズ(G5)
(2) 洗浄装置   LC4000シリーズ
(3) 有機薬液処理装置/酸薬液処理装置   LY4000/LN400シリーズ
  (6) 大型ガラス基板露光装置   LE0200SD
(6) 大型ガラス基板露光装置   LE0100S
(6) 大型ガラス基板露光装置   LE9300S
(6) 大型ガラス基板露光装置   LE9100S
(6) 大型ガラス基板露光装置   LE8000シリーズ
(6) 大型ガラス基板露光装置   LE5565A
(6) 大型ガラス基板露光装置   LE4000A
(7) PS高さ測定装置　   GH7500シリーズ

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