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日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000 |
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专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。
- 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
- 0.4nm / 30kV（SE）
- 1.2nm / 1kV（SE）
- 0.34nm / 30kV（STEM）
- 用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
- 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
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SU8000系列扫描电子显微镜具有共同的卓越功能，诸如超高分辨率技术（1.3nm/1.0kV），信号探测系统范围广，可操作性强，便于用户操作等。SU8000系列提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。
- 超高分辨率成像功能
- 分辨率： 1.0nm / 15kV, 1.3nm / 1kV
- 倍率：80x ～ 2,000,000x
- 信号探测范围广
- 多用户型，用户友好型操作界面
- 各种样品台，样品室以及配置系统，满足用户对未来超高分辨率显微镜的特定需要。
 更多信息
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日立分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70 |
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SU-70电子显微镜是一种新概念扫描电子显微镜，它采用了日立经过实地验证的 “semi-in-lens”超高分辨率技术以及肖特基热场发射电子枪技术。除了具有超高分辨率（1.0 nm/15 kV，1.6 nm*/1 kV）的特点外，它还借助声名远播的SuperExB功能可观察减轻荷电图像，成分构成对比图像，超低加速电压图像*。肖特基场发射电子枪的探针电流为100nA，可进行各种各样的分析操作（X 射线能谱仪*, X射线波谱仪*,电子背散射衍射系统*等）（*选购件）。
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日立分析可变压力扫描电子显微镜SU6600 |
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该显微镜采用可变压力（VP）技术，除了具有高分辨率成像和样品物性表征特性外，还支持X 射线能谱仪， X射线波谱仪以及电子背散射衍射系统进行各种样品分析。在可变压力模式下，操作者可改变样品室的真空状态由高真空状态改为低真空状态。
- 电子枪：ZrO/W肖特基场发射电子枪
- 分辨率：1.2 nm /30 kV，3.0 nm /1 kV
- 探针电流：1pA~200nA
- 样品仓压力：10-4Pa（高真空）, 10~300Pa（低真空）
- 样品尺寸：最大直径150 mm×高40 mm
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