纳米探针系统

日立纳米检测器专用纳米检测系统N-6000

通过直接将探针接触大规模集成电路的导通连接孔，检测单个MOS晶体管特性  更多信息

日立微小器件特性评价装置nanoEBAC NE4000

日立NE4000 nanoEBAC是一种基于电子束吸收电流的探针检测系统，用于电气特性评价，电子束吸收电流分析以及微电子器件连接线，材料，成分的成像。  更多信息