TEM/SEM全般で、装置を長時間ご使用になると下の画像のように、像が不安定になってきます。
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| ↑正常なSEM像 |
↑不安定なSEM像 |
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| ↑正常なTEM像 |
↑不安定なTEM像 |
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[TEM/SEM像が不安定になる原因]
- 電子銃
電子線照射による焼付き汚れで加速電圧不安定を誘発します。
- 電子線通路/絞り
汚れの蓄積、チャージアップ等による画像の不安定が発生します。
写真の例は主に対物可動絞り板の汚れによる影響です。
- 真空排気系
ポンプのオイル劣化、ミストフィルタ目詰まり等による排気能力の低下
- 水路/圧縮空気、各排管の劣化
長期に渡って使用すると排管/チューブ類の劣化により、圧縮空気/水漏れが発生してしまいます。
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FIBで、装置を長時間ご使用になると下の画像のように、ビームが不安定になってきます。
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| ↑安定したビーム |
↑不安定なビーム |
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[FIBのビームが不安定になる原因]
- イオン源
長時間使用によるイオン源周辺の汚れでビームが不安定になる場合があります。
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装置の安定稼動には、定期的な整備が必要です。
総合整備、点検作業等承ります。
お気軽にご相談ください。
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