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電子顕微鏡システム

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調べたい項目を選択してください。解決方法をご案内いたします。

  1. 最近装置の調子がいまひとつ・・・
  2. 像が揺れて見える/写真がはっきり写らない
  3. 確実なデータを取りたい
  4. 日頃の予防で装置を安定稼動させたい
  5. 装置をもっと便利に使いたい
  6. 環境にやさしい使い方をしたい
  7. 装置の使い方が難しい
  8. 撮影が難しいサンプルで上手く写真が撮れない
  9. 新しい装置の情報も知りたい
  10. SEM像の取り方、基本情報が知りたい
  11. EDSについて知りたい
  12. 保守サービス部品/材料のご紹介
  13. 廃棄物取扱について
  14. トラブル発生、困った!!
(像が出ない、データが取れない etc)




  1. 最近装置の調子がいまひとつ・・・
TEM/SEM全般で、装置を長時間ご使用になると下の画像のように、像が不安定になってきます。
正常なSEM像 不安定なSEM像
↑正常なSEM像 ↑不安定なSEM像
正常なTEM像 不安定なTEM像
↑正常なTEM像 ↑不安定なTEM像

[TEM/SEM像が不安定になる原因]
  • 電子銃
    電子線照射による焼付き汚れで加速電圧不安定を誘発します。

  • 電子線通路/絞り
    汚れの蓄積、チャージアップ等による画像の不安定が発生します。
    写真の例は主に対物可動絞り板の汚れによる影響です。

  • 真空排気系
    ポンプのオイル劣化、ミストフィルタ目詰まり等による排気能力の低下

  • 水路/圧縮空気、各排管の劣化
    長期に渡って使用すると排管/チューブ類の劣化により、圧縮空気/水漏れが発生してしまいます。

FIBで、装置を長時間ご使用になると下の画像のように、ビームが不安定になってきます。
安定したビーム 不安定なビーム
↑安定したビーム ↑不安定なビーム

[FIBのビームが不安定になる原因]
  • イオン源
    長時間使用によるイオン源周辺の汚れでビームが不安定になる場合があります。

装置の安定稼動には、定期的な整備が必要です。
総合整備、点検作業等承ります。 お気軽にご相談ください。
→メンテナンスメニューへ
  2. 像が揺れて見える/写真がはっきり写らない
電子顕微鏡は高い倍率に拡大するため、周囲環境の外乱、振動/磁場変動・交流磁場/騒音/アースからのノイズ/急激な温度変化/エアコンの風・・・等が画像に影響します。
設置場所の環境診断・対策を行い、快適な操作環境を実現します。

  3. 確実なデータが撮りたい
各種サンプル処理機器、材料、標準サンプルを取り揃えています。

  4. 日頃の予防で装置を安定稼動させたい
装置の安定稼動には、定期的な整備が必要です。

  5. 装置をもっと便利に使いたい
装置をもっと活用していただくための周辺装置を各種ご用意しています。

  6. 環境にやさしい使い方をしたい
環境にやさしいサービスをご提案します。

  7. 装置の使い方が難しい
お客様の目的に合わせたサポートをご用意しています。
  • オペレーションサポート
  • アプリケーションサポート

  • H-7500サポートツール
    H-7500をより活用して頂けるよう、お客様のご意見をもとに取扱説明書を再構築ししました。
    *本サポートツールの使用には利用登録(無料)が必要です。

  8. 撮影が難しいサンプルで上手く写真が撮れない
お客様に変わって分析を行います。(試料お預かり分析・お客様立会い分析)
  • 有償分析
    *本サービスは株式会社日立ハイテクノロジーズのサービスです。

  9. 新しい装置の情報も知りたい

  10. SEM像の取り方、基本情報が知りたい
株式会社日立ハイテクノロジーズにて、日頃日立走査電子顕微鏡をご愛用いただいているお客様との双方向のコミュニケーションを図る場として、インターネットによる会員制情報サービス「Semevolution(R)」を開設しています。
会費は無料となっておりますので、是非アクセスいただきご入会ください。

  11. EDSについて知りたい
株式会社日立ハイテクノロジーズにて、日頃日立走査電子顕微鏡をご愛用いただいているお客様との双方向のコミュニケーションを図る場として、インターネットによる会員制情報サービス「Semevolution(R)」を開設しています。
会費は無料となっておりますので、是非アクセスいただきご入会ください。

  12. 保守サービス部品/材料のご紹介
保守部品や消耗品をインターネットで購入できます。
*ご利用にはお客様コードの登録(無料)が必要です。

  13. 廃棄物取扱について
産業廃棄物の取扱につきましては、「廃棄物の処理及び清掃に関する法律」(廃掃法)により、その取扱が規制されています。
弊社作業に伴って発生する交換済部品等の産業廃棄物についても、前述の法律に基いた処理が必要となりますが、その処理については 廃棄物取扱に関するお願いを参照ください。

  14. トラブル発生、困った!!
装置が動かない、像が取れないなどのトラブルが発生したときは、お近くの支店または営業所へご連絡ください。


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