プラズマクリーナー『撮れた君』は低エネルギー高周波(HF)プラズマで電子顕微鏡用試料をホルダーごとクリーニングする事ができる装置です。

電子顕微鏡で観察中の試料表面への有機系不純物形成を防止できます。

試料表面を清浄に保つことにより微細構造の観察や正確な元素分析など電子顕微鏡本来の能力を充分に発揮することができます。

本体部は試料室部を交換するだけで通常のイオンスパッタとして試料作成に利用することもできます。

ニードルバルブから真空中に導入された
大気中の酸素は、プラズマによって活性酸素(O2+)となります。

この活性酸素を観察試料に照射することによって、コンタミネーションの要因である炭化水素(CH)と化学反応を起こし、H2O，CO，CO2となって真空排気されます。