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SECS1＆HSMS通信ソフトウェア

本ソフトウェアは、半導体製造装置との通信を容易に行えるソフトウェアです。 装置からのプロセスデータやログデータ及び装置の制御が可能となります。 UNIXからWindowsＮＴ4.0などのコンピュータと接続できるため、それぞれのニーズにあった通信システムを構築できます。
■ スタンドアロン		■ 分散システム
PC (DOS/V)単体で通信・制御ができます。		PC で通信制御を行ないながらワークステーションにデータを送信できます。

• 半導体製造装置通信規格SEMIに対応
  SECS1及びHSMSプロトコルをサポートしています。
  　
• 分散システム構築が可能
  各コンピュータをネットワークで接続し、処理を分散させることで負荷を低減できます。
  　
• SECS1、HSMS切り替えが可能
  パラメータを変更するだけで、容易にプロトコルの切り替えができます。
  　
• マルチプラットフォーム対応
  UNIXやWindowsNT4.0に対応します。混在システムにも対応できるので、ワークステーションとPCを組み合わせた分散システムも可能です。

• オペレーティングシステム：WindowsNT4.0（Service Pack5.0以上）
• 推奨メモリ容量：64M以上

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