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FOUPオープナ MEL-3000

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製品写真：FOUPオープナ MEL-3000
  • 省スペース・軽量設計
  • 簡単メンテナンス
  • 高信頼性、高機能安心設計
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主な仕様

FOUPオープナ MEL-3000 製品仕様
項目 仕様
対象FOUP 300mm(ウェーハ25枚用）
繰り返し精度 FOUP前後進　±0.1mm
ドア昇降　±0.2mm
動作時間 マッピング時/ロード開始よりアンロード終了まで27.9s
マッピング機能 (1)ウェハー2枚重ね：○
(2)クロス検出　1段：○、2段：○、3段：○
外形寸法 高さ：1305×奥行き：586.5×幅：475mm
本体質量 55kg
ユーティリティ 電源 DC24V±10% 4A（動作中）
(1)ドライエア 使用しない
(2)排気 使用しない
(3)真空 真空-50KPa以下、5L/分@-50KPa
差圧 装置とロードポートの差圧 1Pa
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