ミニエンバイロメント ウェーハ搬送システム MH3000シリーズ

特長

300mm/200mm ウェーハ対応（混在運転可能）

高スループット（ダブルアーム）

• 19秒以内（ローダ1→PA→ステージ→ローダ1）

高清浄度（FED-STD-209）

• Class 1（JIS-B9920）

高精度位置決め

• 繰り返し位置決め制度±0.1mm
• プリアライメント機構搭載

各種オープナーに標準対応

自動差圧管理

• 装置内外の差圧を自動管理

主な仕様

ミニエンバイロメント ウェーハ搬送システム MH3000シリーズ 製品仕様

対象ウェーハ	300mm/200mm SIウェーハ 【混在運転可能】
ハンドリング	シングルアーム、ダブルアーム、真空吸着方式 または エッジグリプ方式
ロードポート数	1〜2 ポート、各種オープナーに標準対応
搬送範囲	軸	搬送範囲	動作速度
	R	497mm	480mm/秒
		310°	270°/秒
	Z	291mm	200mm/秒
	ロボット走行ユニット	525mm	420mm/秒
本体寸法	1,440(W)×700(D)×1,850(H)
本体重量	約550kg
標準オプション	キャリアID、ウェーハID、ケミカルフィルタ、イオナイザー、オープンカセットローダ