ミニエンバイロメント ウェーハ搬送システム MV1000
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- 高スループット（ユーザーポート上のウェーハ高速入替え機能）
- 走行軸付水平多関節ロボットの採用により広範囲をサポート
- 最適気流構造による更なるクリーン化を実現
- ニーズに合わせた最適機能（各種オプション）の提供
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主な仕様
ミニエンバイロメント ウェーハ搬送システム MV1000 製品仕様
| 項目 |
仕様 |
| ウェーハサイズ |
 300mm（ノッチ） および 200mm(ノッチ、オリフラ) |
| ロードポート |
１〜3ポート（4ポート以上オプション）
各社ロードポートに対応可能
キャリアIDリーダ等オプションの対応可能 |
| ステージポート数 |
1〜4ポート |
| 搬送範囲 |
軸 |
搬送範囲 |
| R |
-4〜508mm |
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-5°〜185° |
| X |
520mm（2ポート仕様）
1,025mm（3ポート仕様） |
| Z |
-4〜300mm |
| 搬送精度 |
X、Y：±0.1mm
：±0.1° |
| FFU |
フィルタグレード |
ULPA |
| 集塵効率 |
99.99999%以上(0.5m/s時） |
| オプション |
ケミカルフィルタ（有機、酸、アルカリ） |
| 外形寸法 |
2ポート仕様：幅1,460mm×奥行700mm×高さ1,800mm
3ポート仕様：幅2,100mm×奥行700mm×高さ1,800mm |
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ミニエンバイロメント ウェーハ搬送システム MV1000
