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オープンカセットロードボート OCL-2300

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製品写真：オープンカセットロードボート OCL-2300
  • 各社オープンカセットに対応
  • インターロック付きカバーにより安全設計
  • FOUPオープナ(MEL-3000)と互換
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主な仕様

オープンカセットロードボート OCL-2300 製品仕様
項目 仕様
適応ウェーハ ファイ200mm標準、ファイ300mm(オプション)
ウェーハキャリア SEMI準拠品
センサ ウェーハキャリア在荷センサ、ウェーハキャリア正常載置センサ、ウェーハ飛出しセンサ
表示 FOUP在荷(プレゼンス)、FOUP正常載置(プレスメント）、LOAD、UNLOAD、Op：acc(表示、操作ボタン)
インターフェイス シリアル1ポート、パラレル10点
インターロック 前面カバー　剥離機能付電磁ロック
背面カバー　自動開閉シャッター
前面カバー材質 エスロンDCプレート(スモークブラウン)
質量 50kg
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