超微細構造の観察例 5

ＧａＮの場合、[0001]方向はＧａ極性、[000-1]方向はＮ極性と呼ばれており、結晶性や結晶成長を評価する上で、これらの極性を把握することは重要と言われています。

収束電子線を薄膜試料に入射することにより、スクリーン上に回折ディスクを得ることができます。回折ディスク内部のパターンは、[0002]と[000-2]で明暗が反転しており、結晶の方位による極性の違いを反映しています。これらの回折ディスク内部に見られる複雑なパターンを、シュミレーションにより得られたパターン・構造モデルと比較することにより、ＧａＮの表面及び界面・成長方向がＧａ/Ｎどちらの極性であるのかを解析できます。