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TEMデータ集
　
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太陽電池透明導電膜の断面・平面TEM観察
 
 
高分解能ＴＥＭにより結晶サイズ・構造・方位を解析いたします。
 
・ZnO透明導電膜の断面構造および平面構造TEM観察

図1、図2に断面及び平面TEM観察結果とフーリエ変換による結晶構造解析結果を示します。
断面観察ではC軸方向に成長した柱状結晶であることが分かりました。断面格子像観察により
結晶方位を解析すると、膜上層においてC軸が少し傾いて成長していることが分かりました。
平面観察で柱状結晶の径は約40nmで、平面の格子像観察により方位解析を行った結果、
膜内でのC軸回転量が分かりました。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Instrument：H-9000UHR　 Vacc：300kV
断面構造ＴＥＭ観察と結晶解析結果 断面構造ＴＥＭ観察と結晶解析結果 断面構造ＴＥＭ観察と結晶解析結果
　　　　　　　　　　図1　断面構造TEM観察と結晶解析結果

平面構造ＴＥＭ観察と結晶解析結果 平面構造ＴＥＭ観察と結晶解析結果 平面構造ＴＥＭ観察と結晶解析結果
　　　　　　　　　　図2　平面構造TEM観察と結晶解析結果
試料ご提供 ： 高知工科大学 総合研究所　　山本　直樹 教授
 
 
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