| 1971年 | 東京三洋電機株式会社 生産技術センタとして発足、社内組立自動機を設計、製作 |
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| 1982年 | ロータリ式チップマウンタ（TCM-2）を開発、外販を開始 |
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| 1983年 | 日製産業株式会社（現 株式会社日立ハイテクノロジーズ）と代理店契約 |
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| 1990年 | ロータリ式ヘッドメカニズム 特許取得 |
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| 1994年 | 12月1日 三洋ハイテクノロジー株式会社として独立会社発足 |
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| 1994年 | ISO9001 認証取得 |
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| 1998年 | ISO14001 認証取得 |
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| 1999年 | 日製三洋ハイテクサービス株式会社を設立 |
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| 2003年 | 4月1日 事業移管に伴い、株式会社日立ハイテクインスツルメンツへ商号変更 |
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| 2004年 | 5月 ダイレクトドライブモジュラーマウンタ GXH-1発売 |
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| 2007年 | 8月 ダイレクトドライブモジュラーマウンタ GXH-3発売 |
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| 2008年 | 4月1日 埼玉県熊谷市に本社工場開所 |
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| 2009年 | 10月 Σシリーズ発売 |
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| 2010年 | 4月1日 株式会社ルネサス東日本セミコンダクタ 電子装置事業部を統合 |
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| 2011年 |
4月１日 株式会社日立ハイテクエンジニアリングサービスのマウンターサービス事業を統合 |
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