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エポキシダイボンダ

SUX-100
SUX-100の写真
 
※実物は写真と一部異なります。
 
本装置はボンディング荷重コントロール機能、マルチコレットチェンジ機能を有した高性能マルチチップ実装対応エポキシダイボンダです。装置はデュアルヘッドシステムを採用し、最大で8品種のウェーハを搭載できます。
 

特徴

 

高生産性

 
タクトタイム 0.75秒/チップ
(デュアルヘッド・最適条件時)
チップ最大8品種
コレットチェンジ機能(オンザフライ)
キャリア循環搬送システムによる基板搬送
(最大4基板同時処理)
Die picking
 
Die picking
 

高品質・高信頼性

 
ボンディング荷重コントロール機能
ボンディング条件のデジタル設定
ペースト転写ユニット搭載
多値化画像認識
Bonding
 
Bonding
 

優れたマン・マシンインターフェース

 
Windows*1ベースの快適操作
 
*1 Windowsは米国Microsoft Corporationの登録商標です。
 

仕様

 
機種名 SUX-100
対象基板サイズ 35×35〜160×250mm
対象基板厚 0.5〜2.0mm
装着タクト 0.75秒/チップ(デュアルヘッド・最適条件時)
ヘッド数 デュアルヘッド (1ヘッド/1ステーション)
装着可能コレット数 6コレット/1ボンディングヘッド
4コレット/1ピックアップヘッド
対象部品(チップ寸法) 標準仕様範囲:□0.5〜□9mm
全対象範囲:□0.5〜□20mm
部品対象荷姿 ウェーハ:標準 6インチ、8品種 オプション 8インチ
トレイ:2インチ、3インチ
動力源 3相AC 200V 50/60Hz
クリーンエア: 0.39Mpa, 真空: -600mmHg
装置寸法(W×D×H) 2,570×1,730×1,565mm(タワー灯、モニターを除く)
 
本文ここまで
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