プラズマ洗浄装置

本装置はCOB、HIC基板、LCDパネル、リードフレーム等をドライ洗浄し、濡れ性の改善、樹脂封止の密着性向上、 および、ボンディング等における接合強度の向上を目的とした全自動プラズマ洗浄装置です。