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テーピング装置

STP-200
STP-200の写真
 
本装置はウェーハフラットリングからダイシングされたチップをピックアップし、反転後、8〜24mm幅までのエンボステープにテーピングし、リールに巻き取る装置です。
チップの位置決めは全て画像認識で行い、素子へのダメージ軽減を図っています。また、テーピングする前にチップ外観検査を行うことで高品質・高信頼性のテーピング作業が可能です。
 

特徴

 

高生産性

 
ウェーハフラットリングからダイレクトテーピング
テーピングサイクルタイム 0.3秒/チップ
2基の8ヘッドロータリインデックス機構
 

高品質・高信頼性

 
チップ位置決め・外観検査・テープポケット認識・ポケット内チップ検査に全て高速、高精度画像認識技術を採用
不良チップの自動リカバリ機能を搭載
マッピング機能対応可能(オプション)
 

高フレキシビリティ

 
標準で8〜24mmまでのエンボステープに対応
フラットリング自動交換を標準装備
 

制御システム・操作性

 
リアルタイム拡張したWindows*1系OSを採用し、安定性と優れた操作性を提供
外観検査に豊富なアプリケーションを用意
 

コンパクト設計

 
占有床面積:約1,300×1,240mm
 
*1 Windowsは米国Microsoft Corporationの登録商標です。
 

仕様

 
機種名 STP-200
対象テープ 8、12、16、24mm幅エンボステープ
サイクルタイム 0.3秒/チップ(最適条件時)
チップ寸法 1.0×1.0〜6.0×6.0mm or 1.5×1.5〜8.0×8.0mm
Option: 0.5×0.5〜3.0×3.0mm or 3.0×3.0〜18.0×18.0mm
ウェーハサイズ 5インチ、6インチまたは8インチ
チップ供給方式 フラットリング自動交換方式
ウェーハ自動交換 マガジン方式、ウェーハ交換時間 約30秒
チップ位置決め方式 多値化パターンマッチングまたはエッジ検出
動力源 3相 AC 200V+20V-10V 50/60Hz
クリーンエア:0.44Mpa
装置寸法(W×D×H) 約1,430×1,490×1,690mm(タワー灯を除く)
 
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