設計・製造ソリューション : ITソリューション : 情報システム : 日立ハイテク

半導体の微細化が進むに伴い、検査の要求される感度は高度化し、IT技術を駆使し大量の欠陥情報をいかに早く抽出・処理するかが歩留り向上業務において重要です。自社装置との連携、歩留り向上業務の効率化、MES、在庫管理等の各種ソリューションをご提供します。

CAAシミュレーション【Dpron】

設計データを製造現場で活用し、致命欠陥率の解析により歩留り向上を行います。

検査装置から欠陥パターンを高速自動分類しHotSpotの抽出・管理を効率化します。

カタログ　（PDF 565KB）

プロセス間のテストデータを収集し、欠陥の発生箇所をトレース・探求します。

カタログ　（PDF 560KB）

工程・品質・装置・搬送管理システムなどモジュール単位での導入が可能なMESです。

国内外、自社・他社の在庫を可視化、集中管理できるソリューションです。

大量のデータをRDBの数十倍～数百倍のスピードで超高速に計算処理するDBエンジン。