株式会社 日立ハイテクノロジーズ（執行役社長：林 將章／以下、日立ハイテク）は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）において、新形電子光学系の採用により３０ｋＶでの世界最高分解能を更新した新形走査電子顕微鏡「Ｓ−５５００形」を１０月２１日に発売します。
走査電子顕微鏡は、研究・開発から生産現場のＱＣに至るまで、幅広い用途で使われています。特にエレクトロニクスや各種機能性材料、薄膜などの材料分野、あるいは、酵母、製薬などのバイオテクノロジーの分野では、超微細構造を観察するために、より高性能なＳＥＭが不可欠になってきています。 こうしたニーズに対応するために従来装置（Ｓ−５２００形）の性能をさらに向上させた「Ｓ−５５００形」では、対物レンズの強励磁化により０.４nm(30kV)と世界最高分解能を更新しました。 Ｓ−５２００で好評を博した二次電子情報と反射電子情報を可変比率で加算できるシグナル可変モードはそのまま踏襲しています。また、エルゴノミクスに準拠した新設計のディスプレイユニットと大型で見やすいモニターから成るハード構成に、全画面表示を標準とした新ＧＵＩを搭載しました。
さらに今回新たに開発した「ＢＦ/ＤＦ Ｄｕｏ−ＳＴＥＭ 検出器」では、明視野ＳＴＥＭ像と暗視野ＳＴＥＭ像の同時観察が可能となり、暗視野ＳＴＥＭモードでは検出角を変えることができます。この新しい検出システムにより低加速電圧ＳＴＥＭの用途が大きく広がりました。
本体標準価格は ８，６００万円で年間８０台の販売を見込み、１２月から出荷を開始する予定です。
１１月８日〜９日に名古屋大学で開催される日本顕微鏡学会第４９回シンポジウム、１１月１０日〜１２日に開催される第１５回マイクロマシン展にて装置の詳細を展示予定です。
■「Ｓ−５５００形」の主な特長
| ・ |
超高分解能 ０.４nm(30kV) １.６nm(1kV)を保証します。 |
| ・ |
二次電子情報と反射電子情報を可変比率で加算できるシグナル可変モードが標準で搭載 されています。 |
| ・ |
エルゴノミクスに準拠した新設計のディスプレイユニットと大型で見やすいモニターから成るハード構成に、全画面表示を標準とした新ＧＵＩを搭載しました。 |
| ・ |
明視野ＳＴＥＭ像と暗視野ＳＴＥＭ像の同時観察が可能。また暗視野ＳＴＥＭモードでは検出角が変えられます。 |
| ・ |
各種像観察及びＥＤＸ分析が同一試料位置で行うことができます。 |
 |
お問合せ先 |
■お問い合せ先
（株）日立ハイテクノロジーズ
デバイス製造装置事業統括本部 先端製品営業本部 製品戦略部 ：二村 TEL03-3504-7714
■報道機関お問い合せ先
株式会社日立ハイテクノロジーズ
総務部 広報課 ：宮本 TEL03-3504-7090
