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２００４年１１月９日
株式会社日立ハイテクノロジーズ（本社：東京都港区。執行役社長 林將章。以下、日立ハイテク）は、松下電器産業株式会社（本社・大阪府門真市）より、オランダＡＳＭＬ社製３００ｍｍ対応露光装置システムを受注した。 今回日立ハイテクが受注した露光装置システムは、ＡＳＭＬ社が｢TWINSCANシリーズ｣として2000年から発売しているもので、 300mm対応露光装置としてのトータルのパフォーマンスが評価され受注につながった。 ＡＳＭＬ社はオランダに本社を置くステッパー業界トップクラスの企業。日本に対する販売は1995年より総販売代理店である日立ハイテクを通じて行ってきたが国内露光装置メーカーの壁は厚く苦戦が続いていた。 日立ハイテクでは今回の松下電器産業からの受注を、日本市場におけるＡＳＭＬ社製露光装置の地位獲得のための契機と捉え、更なる拡販に注力していく。
デバイス製造装置事業統括本部 ASML部 TEL ０３−３５０４−７８８４ ■報道機関お間合せ先 人事総務本部総務部広報課 TEL ０３−３５０４−７０９０ |
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