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タクトタイム0.75秒/ダイ(デュアルヘッド・最適条件時)コレットチェンジ機能:6個コレット/ピックアップ8品種のウェハー搭載可能キャリア循環搬送システムによる基板搬送ペースト転写ユニット搭載
株式会社日立ハイテクノロジーズ
産業システム部 1課 TEL : 03-3504-6183
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