産業システム

産業システム

半導体実装関連システム

	プラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー）
	チップソータ
	テーピング装置
	ハンダダイボンダ
	エポキシダイボンダ

自動組立システム

	二次電池組立システム
	FSW（摩擦攪拌接合）装置
	部品組付ライン設備
	ロール成形機

水晶振動子/発振器　組立装置・検査装置

	マスク詰め装置
	ブランク搭載機
	温度特性検査装置

カメラモジュール組立装置

	レンズホルダー搭載機
	レンズバレル装着機
	フィルター貼付け機

飲料・薬品ボトリングラインシステム

	インクジェットプリンタ
	印字検査機（飲料・薬品ボトリングラインシステム）
	飲料ライン各種検査装置

先端システム

	フェムト秒レーザー（3次元超微細加工機）
	顕微レーザラマン分光装置

EV,HEV開発設備

	HEV評価試験システム（モータシミュレータ）
	HEV評価試験システム（バッテリーシミュレータ）
	HEV評価試験システム（モータ試験機）
	モーター・インバーター・バッテリー試験装置

パワートレイン性能評価装置

	トランスミッション試験装置
	エンジン性能計測システム
	車両シミュレーション評価装置
	エミッション計測装置

検査・診断評価装置

	非破壊検査装置
	材料試験機
	超音波検査装置
	3次元形状計測システム

パワーモジュール評価装置

	パワーモジュール静特性測定装置
	パワーモジュール動特性測定装置
	パワーモジュール過渡熱抵抗測定装置
	パワーサイクル試験装置

LED評価装置

	LED熱抵抗測定装置
	LED通電輝度測定装置

燃料電池評価システム

燃料電池評価システム

完成車総合試験装置

SHED

国家プロジェクト先端研究設備関連

	高エネルギー物理実験用超大型加速器システム
	放射光加速器システム
	大型三次元震動破壊実験装置
	大型超電導システム