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電子スキャン方式 高速超音波検査装置 ES5000

高速超音波検査装置 ES5000
電子スキャン(=フェーズドアレイ方式)で最大周波数75MHzを実現した超音波検査装置です。
 

特徴

 

従来方式に比べ、約60倍の高速検査

 
電子スキャンアレイプローブの採用により、精度はそのままに従来方式に比べ約60倍(当社比)の高速探傷を実現。評価・解析作業の効率が飛躍的に向上します。
例)30mm角のICパッケージを0.1mmピッチで探傷した場合、約4秒で終了します。
従来方式

電子スキャン方式
 

インライン全数検査への適用

 
圧倒的な高速性により、これまで困難であった量産時の全数検査が可能になりました。
ローダー、アンローダーといったハンドリンク機構を構築することで、インラインでの導入も可能です。
また、検査体を個別ID化して探傷データを収録・保存することで、不合格品(NG品)の傾向、生産ロットごとの割合、その他統計処理により解析・評価方法が広がり、品質改善を支援します。
 

電子スキャン方式ならではの使いやすさ

 
Aスコープと同時にBスコープ(断面図)がリアルタイムで見られるので、手間のかかる探傷準備(キャリブレーション)作業が格段に容易になります。
 
イメージ図
 

マルチゲート機能

 
電子制御により超音波の焦点および観察深さを順次移動させ、平面画像を高速にサムネイル表示できます。
マルチゲート機能
 

システム構成と主な仕様

 
システム構成
仕様

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株式会社日立ハイテクノロジーズ
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TEL : 03-3504-7392
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