ナノテクノロジー製品事業本部
半導体計測システム
設計部開発グループ
松島 勝
「日立ハイテクの魅力は、向上心がある人には惜しみなく協力してくれるところ」という松島。「社内には超一流の技術があって、その気さえあれば一流の教育を受けられるし、必要だと認められれば一流の設備を導入してもらえます。周囲の仲間や先輩もエンジニアとしての意識が高い方ばかりなので刺激になります。自分に向いている環境だなと思います」
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半導体計測システム設計部が担当する測長SEMは、日立ハイテクが手がける数ある製品の一つに過ぎないものの、その売上規模や世界的なシェアから当社の“フラッグシップモデル”として位置付けられている。そうした製品の開発設計に携われることを、一人のエンジニアとして非常に光栄に思う。なかでも「S-9380」の開発は、求められる性能が高かった分、いやというほど生みの苦しみを味わった思い出深い製品である。
実は「S-9380」の開発以前、日立ハイテクの測長SEMには、優れた電子光学系を持つ反面で、その他の機構系の性能が追い付いていない、という課題があった。新製品の開発にあたって、そうした機構系の課題を解決するのが、機構設計業務を担当した私のミッションとなった。しかし――時間的制約があるため、プラットフォームはそのままに、機構系の性能を目一杯引き出すことに注力していたのだが、認定試験中に画像が振動するという“致命的な問題”が発生してしまったのである。
測長SEMにおいては、たとえnmオーダーであっても画像の揺れがあってはならない。そのため急遽、対策チームを組み、さまざまなスタッフの協力のもと原因究明のための測定やシミュレーションを何度も繰り返し、画像が揺れる現象を一つずつ解き明かし、なんとか製品出荷にこぎ着くことができた。トラブルシューティングの直後は何とか開発が間に合ったという安堵感で一杯だったが、後日、営業担当者から「お客様から『要望以上の製品をありがとう』と言っていただけた」と聞いた時は、とても嬉しかった。
日立ハイテクがもつチカラ――グローバルなネットワーク、世界の最先端ニーズとつながっているマーケティング力や販売力、そして高い技術力を融合することで、当社はまだまだ他社には真似できない最先端製品を市場に提供することができると確信している。今後も、“さらにその先”の領域へと挑戦し、第2、第3のフラッグシップモデルを生み出していきたいと思っている。
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半導体製造装置営業統括本部
評価装置3部1課
伊原 弘哲
「大好物はモダン焼きとビール。得意な曲はやしきたかじんの東京」というコテコテの大阪人。
毎週食べるモダン焼きエネルギーで、様々な仕事にチャレンジする彼のタフな姿勢に、周囲からも厚い信頼が寄せられている。」
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――実は当初、「S-9380形」は2003年夏に完成する予定で開発を進めていた。しかし、顧客からの“一本の電話”によって、その開発計画は大きく軌道修正することとなったのである。
電話の主は、私が担当している米国の大手半導体メーカーA社の担当者だった。世界の半導体市場をリードするA社は、「2003年の初めに次世代半導体開発をスタートする」という技術ロードマップを描いていた。それに合わせて「新型測長SEM」の完成を2002年末まで早めてほしいというのがA社からの要請だった。
しかし、新型測長SEMの開発は2003年半ばをゴールに進んでおり、約半年間ものギャップを埋めることは簡単なことではない。そこで私は顧客との納期交渉を粘り強く続ける一方で、工場に対しては開発の加速を御願いするため足繁く工場に通い続けた。その甲斐あってか、2002年12月まで完成を前倒しすることに成功。装置立ち上げも順調に進み、顧客からも感謝の言葉をいただくことができた。
そんな喜びもつかの間、今また新しいニーズに対応すべく、設計とのコラボレーションを組み進んでいる。
“ドッグイヤー”と呼ばれる半導体の市場サイクルを先駆けるA社の要求に応えたことで、当社の測長SEMは世界各国の半導体メーカーから注目される存在となった。私も現在、新たに数社の顧客を担当するようになり、日々楽しく刺激的な毎日を送っています。
顧客のニーズを的確に把握し、各国の営業担当とタッグを組み、本社の上司を粘り強く説得し、当社が誇る技術者たちのポテンシャルを正しい方向へ引っ張っていく――今後も、そうした営業に求められる役割を実践しながら、日立ハイテクの存在をより多くの国々に、より最先端の分野へ広めていくつもりだ。
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