日立ハイテクノロジーズ　Discovery Vol.3

「次世代半導体の開発が始動したアメリカ市場への挑戦」

2003年から次世代半導体の開発に着手したい―――10年以上にわたり世界の半導体市場をリードしてきた米国の大手半導体メーカーから、かねてより開発を進めていた「新型測長SEM」の完成を急いで欲しいという要請が届いた。“65nm”世代を切り拓くために、その先進的な機能が必要とされたのである。