パークシステムズ 原子間力顕微鏡 NX10

• クロストーク除去（XE）による正確なAFMイメージング
  ・試料とチップをそれぞれ走査する2基のフレクシャー方式スキャナにより業界最高水準のXYZ走査の直線性を実現
  ・XY走査範囲全体で面外運動を業界最小の1 nm未満に抑制
  ・Zスキャナの直線性は0.015％未満
  ・XYスキャナのリンギングをフォワード・サインスキャンアルゴリズムにより削減
  
• 完全非接触モード^TMによる正確なAFM走査
  ・業界初の、9 kHzを超えるZサーボバンド幅と62 mm/sec以上の高速走査を実現するZサーボ
  ・最速の非接触モードイメージング走査
  ・チップ先端の摩耗が少なく高品質の走査を長期間にわたって維持
  ・直軸上に設置された光学系による高分解能の光学観測
  ・最小限のサンプルダメージと変形
• 真の試料トポグラフィー^TMによる正確なAFM測定
  ・業界最高水準の低ノイズZ検出器で測定する試料トポグラフィー
  ・往復走査時の走査ギャップを業界最高水準の0.15％未満に抑制
  ・熱的整合性のあるコンポーネントを使用することによりシステムドリフトとヒステリシスを最小限に抑制
  ・アコースティックエンクロージャーのアクティブな温度制御
• NXユーザーの生産性
  ・簡単にチップを交換 - チップや試料を扱うための空間を左右に確保
  ・簡単で直観的なレーザーアライメント - アライメント済みチップ装着機構および軸上から見下ろす形での調整（特許取得済み）
  ・試料表面への簡単で高速なチップの自動接近 - 10秒以内での試料アプローチ
  ・24ビットデジタル制御回路 - 3チャンネルロックイン、Q制御、およびバネ定数キャリブレーション