BRUKER 多機能薄膜材料評価X線回折装置 D8 DISCOVER

ゲーベルミラー（多層膜ミラー）を基本とした高強度平行ビーム光学系で、プリアライメントされたUBCモジュールを組み合わせることにより、多結晶薄膜、配向薄膜、アモルファス薄膜、エピタキシャル薄膜の多彩な評価が可能です。 価格： お問い合わせください

特長

特長

・ UBC：Universal Beam Concept ゲーベルミラー（多層膜ミラー）を基本とした高強度平行ビーム光学系で、プリアライメントされたUBCモジュールをワンタッチで切り替え可能。 ・ 多目的ゴニオメーター D8ゴニオメーターのw，2qの2軸に加え、c，f，X，Y，Z軸の5軸試料ステージで、最大6インチの完全マッピングが可能で、最大12インチまでの試料が搭載可能。 ・ セントリック ユーレリアンクレードル with チルトステージ 新開発のスマート設計を実現したc，f，X，Y，Zの5軸試料ステージに加え，z，xの2軸をかね備えたチルトステージを用意し、従来の各種薄膜測定に加えて斜入射面内回折測定（GID）などの新しいアプリケーションにも対応しました。 ・ パスファインダー 自動可変スリット光学系と3回回折チャンネルカットモノクロメーター光学系の2つの光学系を1つのモジュールに内蔵し、高強度測定と高分解能測定の両方に対応。 ・ ソフトウェア：XRD Wizard，XRD Commander，LEPTOS XRD Wizardソフトウェア、XRD Commanderソフトウェアを用いるとエワルド球から測定条件の作成、およびアライメントから測定までの全自動測定に対応します。 LEPTOSソフトウェアはX線回折測定結果に対してシミュレーションフィッティング法を用いて膜厚・膜組成の評価を行うことが可能です。 ・ Super Speed Solution X線源に回転対陰極式の強力X線源 Turbo X-ray Sourceが新登場。 従来の封入管球式に比べて10倍のX線強度を実現しました。

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