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日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000


日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000 −最高峰のSEMを最前線に−

「超高分解能観察の常時安定稼働・高スループット観察の提供」をコンセプトに、日立ハイテクのコア・コンピタンスである“匠の技術”を結集。
低収差レンズの最高峰であるインレンズ対物レンズを搭載したSU9000は、世界最高分解能*10.4nm(加速電圧:30kV)の実現に加え、低加速電圧領域でも1.2nm(加速電圧:1.0kV)と、飛躍的に分解能を向上しました。(当社比*225%アップ)

*1 世界最高分解能:SEM像、加速電圧 30kV条件、2011年4月時点
*2 当社比 S-5500:1.6nm → SU9000:1.2nm

価格: お問い合わせください
 特長  仕様
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特長


 
  • 試料ダメージの軽減などを目的とした低加速電圧観察時の分解能を向上
  • 低収差と高輝度安定プローブ電流を両立した新開発コールドFE電子銃
  • コンタミネーションの影響を軽減させた超高真空試料室
  • さまざまな設置環境下でも、高いパフォーマンスを実現するための高剛性フレームと耐騒音カバー
  • ユーザビリティを追求した新ユーザーインターフェイスと24.1型ワイドモニタ
 


仕様


 
項目 内容
分解能
二次電子分解能*1 0.4nm(加速電圧30kV、Sample Height=1.0mm、倍率800k)
1.2nm(加速電圧1kV、Sample Height=2.0mm、倍率250k)
STEM分解能*2 0.34nm(走査透過電子像による格子像、加速電圧30kV、Sample Height=0.0mm)
倍率表示
表示方法の切替機能
写真倍率*3
実表示倍率*4
低倍率モード
80〜10,000倍
220〜25,000倍
高倍率モード
800〜3,000,000倍
2,200〜8,000,000倍
光学系
電子銃 冷陰極電界放出形電子銃
加速電圧 0.5〜30kV(0.1kVステップ)
レンズ系 3段電磁レンズ縮小系
対物レンズ絞り 可動絞り(加熱タイプ、真空外より4孔切替及び微調整可能)
電気的視野移動 ±5µm(Sample Height=0.0mm)
ビームブランキング 走査信号同期式ハイスピードブランキングシステム搭載
ステージ/試料サイズ
ステージ サイドエントリーゴニオメーターステージ
可動範囲 X:±4.0mm、Y:±2.0mm、Z:±0.3mm、T:±40°
標準ホルダー
(1本付属)
平面試料台:5.0mm×9.5mm×3.5mm(高さ) (最大)
試料台
(6種類×1個付属)
断面試料台:2.0mm×6.0mm×5.0mm(高さ) (最大)
専用ホルダー*2 断面ホルダー:2.0mm×12.0mm×6.0mm(高さ)
大型断面2軸傾斜ホルダー:0.8mm×8.5mm×3.5mm(高さ)
検出器
検出器 二次電子検出器(SE/BSE信号 検出比率可変機能付)
Top検出器*2
BF/DF Duo-STEM検出器*2
エネルギー分散型X線検出器*2
画像表示
モニタサイズ 24.1型ワイドLCD(表示画素:1,920×1,200)
大画面表示 1,280×960画素
1画面/2画面表示 800×600画素/800×600画素×2
4画面表示 640×480画素×4
制御系
OS Windows®7*5
操作方法 PCモニタ上のGUI、表示切替(日本語/英語メニュー)
操作卓 マウス、キーボード、専用ロータリーノブ、ステージコントローラ(トラックボール/ジョイスティック複合)
保存画像サイズ 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840画素
保存画像データ管理 SEMマネージャ
(画像データ管理、サムネイル表示、各種画像処理機能)
 
  *1: 自社試料のSEM像から最小の粒子間Gapを測定  
  *2: オプション  
  *3: 127mm×95mm(4×5写真サイズ)を表示サイズとして倍率を規定  
  *4: 345mm×259mm(1,280×960画素表示:加速電圧5kV以上)を表示サイズとして倍率を規定  
  *5: Windowsは米国およびその他の国における米国Microsoft Corp.の登録商標です。  


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  外観写真は、製品の仕様や構成により異なります  
  モニタ上の画面は、はめこみ合成です  

 
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