日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300

安定した超高分解能と新たな解析手法を併せ持った、次世代FE-TEMが登場！ 定評ある、高輝度冷陰極電界放出電子銃と300kVの高加速電圧の組み合わせにより、超高分解能観察と高感度分析を両立しました。 また、ダブルバイプリズム電子線ホログラフィー＊1、位置分解型EELS＊1、ナノ電子線回折＊1により、従来にない高精度解析を実現します。 （＊1：オプション） 価格： お問い合わせください

特長  仕様  アプリケーションデータ  電子顕微鏡・FIBセミナーのご案内

特長

高輝度冷陰極電界放出形電子銃（Cold FE） 高輝度と高エネルギー分解能が同時に得られる、冷陰極電界放出形電子銃がナノオーダー解析の新境地を開きます。 その高い干渉性は超高分解能観察や電子線ホログラフィー＊1にも大いに寄与します。 300kVの高加速電圧 厚い試料でも高分解能観察が可能です。金属、セラミックスなど電子線が透過しにくい試料の観察にも威力を発揮します。 新たな解析手法 新しく採用した、ダブルバイプリズム電子線ホログラフィー＊1、位置分解型EELS＊1、ナノ電子線回折＊1が高度化する解析ニーズにお応えします。 FIB/NB＊1とのホルダリンケージ 日立FIB/NB＊1と試料ホルダを共通化することで、試料作製からTEM解析までの効率を大幅に改善します。また、3D解析ホルダ＊1とSTEM＊1の組み合わせによる多方向構造解析にも対応します。 優れた操作性 Windows®＊2 PCによるTEM/STEM＊1制御、モータ駆動絞り、5軸モータ駆動ステージの採用により、操作性を向上しました。10分間の高圧昇圧、1分間の試料交換が高いスループットを実現します。

仕様

項目 内容 電子源 W（310）冷陰極電界放出形 加速電圧 300kV、200kV＊1、100kV＊1 像分解能 格子像 0.10nm 粒子像 0.19nm インフォメーションリミット 0.13nm 倍率 Low Magモード 200〜500倍 High Magモード 2,000〜1,500,000倍 像回転 ±5°以内（High Magモード、1,000,000倍以下にて） 最大試料傾斜角 ±15° カメラ長 300〜3,000mm X線分析＊1 立体角 0.15sr

	*：	上記仕様は300kV時のものです
	*1：	オプション
	*2：	Windows®は、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp.の登録商標です

	集束イオンビームラインアップ
	TEM/SEM試料前処理装置ラインアップ

＊

外観写真は、製品の仕様や構成により異なります

お客さまの分析をサポートする会員制サイト「S.I.navi（エスアイナビ）」 アプリケーション / カタログ / 部品・消耗品 / 技術解説などがご覧になれます。

同じカテゴリの製品を見る 他のカテゴリの製品を見る 現在のカタログ請求を見る